TOPIC 可满足3000~6000条/mm的刻线要求。
HOLOGRAPHIC LAMINAR GRATINGS FOR VACUUM ULTRAVIOLET REGION
刻线数: 1200条/mm
刻线深度: 15nm
刻线数: 6000条/mm
刻线深度: 45nm
层状衍射光栅AFM 图片
岛津采用离子刻蚀技术及全息曝光的工艺方法,加工出可适用于真空紫外及软x线领域使用的层状式衍射光栅。
此款光栅刻线的截面形状如上图所示,是矩形形状,是在合成石英的基底上直接刻线加工而成,特别适合斜入射光源的要求。
最终用途应用实例
- 放射光光束设施
概念图
![](static/picture/Diffraction-Gratings-1-02.jpg)
图2 矩形衍射光栅刻线断面形状的概念图
检测例
图3 氩吸收光谱测量示例
镀膜材质
图4 镀膜材料与反射率的关系
*理想平面镜的模拟结果(非保证值),膜厚为 30nm,入射角为 88°,表面粗糙度为 0。